MDPlinescan 在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)儀
在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè)，每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線上的來(lái)料質(zhì)量檢查是最常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。還有許多其他的專門(mén)應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連
