MDPlinescan 在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)儀
在線面掃和單點(diǎn)檢測(cè)
MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測(cè)線。關(guān)鍵的測(cè)量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來(lái)輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測(cè)，每個(gè)晶圓的測(cè)量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來(lái)料質(zhì)量檢查是最常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。
還有許多其他的專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源。
特性
允許單片調(diào)查配方的基礎(chǔ)測(cè)量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
優(yōu)勢(shì)
在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易。優(yōu)勢(shì)是長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和測(cè)量結(jié)果的高精度。
技術(shù)參數(shù)
| 樣品種類 | 多晶或單晶晶元片， 晶錠，晶胞 |
| 樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm² |
| 電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 電導(dǎo)類型 | p, n |
| 材質(zhì) | 硅晶圓，部分或完全加工晶圓，化合物半導(dǎo)體等 |
| 測(cè)量屬性 | 載流子的少子壽命 |
| 硬件接口 | ethernet |
| 大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
| 電源 | 24 V DC, 2 A |