RESmap電阻率測試儀
特征
電阻率的非接觸式測量和成像
高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號(hào)靈敏度
基于線圈頻率讀數(shù)（正在申請專利）的高信號(hào)靈敏度，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確可靠的電阻率測量，并具有高再現(xiàn)性和可重復(fù)性
測量時(shí)間
測量時(shí)間 < 3 s，測量之間時(shí)間 < 1 s
測量速度
200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s，9個(gè)點(diǎn)
多點(diǎn)測量及測繪顯示
最高9999個(gè)點(diǎn)
材料外形尺寸
平坦或略微彎曲的晶圓、晶錠、錠板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率
≥ 0.1mm
邊緣扣除
5 mm
可靠性
模塊化、緊湊的臺(tái)式儀器設(shè)計(jì)，可靠性高，正常運(yùn)行時(shí)間 > 99%
電阻率測量的重復(fù)性
≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法對(duì)材料系統(tǒng)分析（MSA）
用戶友好且先進(jìn)的操作軟件
+電阻率測量配方 +分析功能包；統(tǒng)計(jì)、方差分析、溫度校正函數(shù)和庫
+導(dǎo)出/導(dǎo)入功能和原始數(shù)據(jù)訪問 +遠(yuǎn)程訪問；基于互聯(lián)網(wǎng)的系統(tǒng)允許在世界任何地
+多級(jí)用戶賬戶管理方進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持 +所有執(zhí)行的測量概覽
+繪圖選項(xiàng)（線、十字、星、完整地圖、地形、用戶定義圖案）
更多技術(shù)規(guī)格和配置選項(xiàng)
| 為自動(dòng)化流程做準(zhǔn)備 | 可用于不同的平臺(tái) |
| 測量方法符合 | SEMI MF673標(biāo)準(zhǔn) |
| 數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)有效性檢查 | 使用NIST標(biāo)準(zhǔn) |
| 校準(zhǔn)精度 | ±1% |
| 集成紅外溫度傳感器（±0.1°） | 允許報(bào)告標(biāo)準(zhǔn)溫度下的電阻率，（與樣品的實(shí)際溫度不同） |
| 樣品厚度校準(zhǔn) | 對(duì)于高頻信號(hào)穿透深度大于穿透深度的樣品 |
| 電力要求 | 100-250 VAC, 5 A |
| 尺寸 | 465 ´550 ´600 mm |
| 軟件控制 | 配備Window10或最新版本的標(biāo)準(zhǔn)PC，2個(gè)以太網(wǎng)端口 |
