MDPinline 晶圓片在線面掃檢測儀
MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。 該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動部件，因此在連續(xù)操作下也非?？煽?。它為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑。例如，在不到3個小時的時間內(nèi)，對10000個晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動統(tǒng)計評估，結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。
實時的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)行的生產(chǎn)過程中，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達(dá)到高性能。
Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon 
Microcrystalline inclusions
Investigation of passivation quality...
Cz-Si with bulk defects, separation...
優(yōu)勢
Multicrystalline silicon wafers
- 在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。
- 在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。
- 適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。
- 適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。
技術(shù)參數(shù)
| 樣品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
| 樣品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm² 之間，或 4”到18” |
| 電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 傳導(dǎo)類型 | p, n |
| 材質(zhì) | 硅晶圓，部分或完全加工的晶圓片，化合物半導(dǎo)體等 |
| 測量性能 | 少數(shù)載流子壽命（穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的） |
| 測量位置 | 默認(rèn)2.8 mm， 其它可選 |
| 檢測時間 | 獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒 |
| 尺寸 | 400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg |
| 電源 | 24 V DC, 4 A |
其它細(xì)節(jié)
- 允許單片控制
- 參數(shù)自動設(shè)置，預(yù)定義的排序菜單
- 多達(dá)15個質(zhì)量等級的晶圓片自動分揀
- 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
- 快速提升工藝和生產(chǎn)線